芯源微取得实用新式专利授权：“一种涂胶显影确立”

本站音讯，左证天眼查APP数据走漏芯源微（688037）新取得一项实用新式专利授权，专利名为“一种涂胶显影确立”，专利肯求号为CN202323670306.1，授权日为2024年11月26日。

专利摘抄：本实用新式波及半导体制造确立限度，提供了一种涂胶显影确立，所述涂胶显影确立包括：片盒用于存储晶圆；穿墙式载片单位包括底板和建树在底板上的载片单位，载片单位被配置于同期承载多个晶圆；晶圆机械手包括竖直建树的多个晶圆手指，每个晶圆手指用于承载一个晶圆；层间机械手被配置于省略对穿墙单位组或载片单位逐片取放晶圆；穿墙单位组建树于层间机械手一侧；工艺模块用于对晶圆进行工艺惩处，本实用新式建树了省略一次性取放通盘晶圆的晶圆机械手，同期穿墙式载片单位不错将取出的通盘晶圆在晶圆机械手和层间机械手之间进行挪动，向后传递，省去了原有结构中晶圆逐片挪动所需的时辰。

本年以来芯源微新取得专利授权32个，较旧年同期减少了13.51%。汇集公司2024年中报财务数据，本年上半年公司在研发方面参预了1.17亿元，同比增52%。

数据着手：天眼查APP

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